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【特長】
●先端に0.01μm の中空糸膜フィルタを採用●大流量、軽量、コンパクト●クリーンルーム仕様、オイルフリー●(従来品CAGN-14に比べて)本体の耐薬品性が向上
●CAGN-14用オプション品
●CAGN-P-14用オプション品
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